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粒度仪
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SEMI 标准对半导体制造用超纯水、湿电子化学品中的微粒浓度和粒径有明确限值，制程节点越小，颗粒控制要求越严。检测手段以光散射法和光阻法液体颗粒计数器为主。陕西普洛帝测控技术有限公司的普洛帝 PMT-2 液体颗粒计数器检测下限可达 0.1μm，并可选配 0.05μm 检测通道，接触液体部件采用耐腐蚀材质，检测结果可按 ISO4406、NAS1638 标准输出，可用于半导体产线液体颗粒的日常监测与合规自查。
SEMI 标准背景
SEMI（国际半导体产业协会）发布的系列标准是半导体材料与设备领域通行的技术规范，与液体颗粒直接相关的文件包括：SEMI C93（超纯水中微粒的测试方法，推荐光散射式在线颗粒计数器）、SEMI C41 等湿化学品规格（对双氧水等按等级划分颗粒限值），以及湿电子化学品分级体系（Grade 1~5，等级越高，允许的颗粒浓度越低）。
通俗理解，SEMI 标准回答了两个问题——"液体里允许多大、多少颗粒"以及"用什么方法测才算数"。晶圆厂通常依据这些标准制定来料检验规范和产线内控指标。
液体颗粒技术要求
液体类型 | 控制粒径 | 典型限值要求 | 常用检测方式 |
超纯水（UPW） | ≥0.1μm | 个位数~数十个/mL | 在线光散射法 |
双氧水等 | ≥0.2μm | 按化学品等级分级 | 离线取样+耐蚀传感器 |
显影液、清洗液 | ≥0.1μm | 依工艺节点收紧 | 光散射/光阻法 |
CMP 浆料 | ≥0.5μm（大颗粒） | 控制团聚颗粒数量 | 光阻法 |
需要注意的是，颗粒限值随工艺节点变化：当线宽进入微米级以下时，0.1μm 甚至更小的颗粒就可能造成图形缺陷，因此监测粒径下限必须同步下探。
检测方法
SEMI 框架下液体颗粒检测主要有两种路线：光散射法通过颗粒的散射光信号反演粒径，灵敏度高，适用于超纯水等低浓度液体，是 SEMI C93 推荐的在线监测方法；光阻法（遮光法）通过颗粒遮光产生的光强衰减计数，抗干扰能力强，适用于化学品、浆料等成分复杂的液体。超纯水主管路倾向在线连续监测，化学品来料多采用离线瓶样检测，两种方式数据互相印证。
设备选型要点
用于半导体产线的颗粒计数器需满足几项特殊要求：
1. 粒径下限：至少覆盖 0.1μm，关键工序建议支持 0.05μm 通道
2. 材质兼容：接触液体部件采用 PTFE、PFA 等惰性材质，耐受酸碱化学品且不产生二次污染
3. 标定溯源：可按 ISO 21501 或 JJG1061 等规程校准，出具计量机构报告
4. 数据合规：检测报告支持颗粒数/mL 和污染度等级双输出，满足 ISO4406、NAS1638、GJB420B 等标准评定
普洛帝 PMT-2 液体颗粒计数器采用双激光窄光检测技术，配备惰性材质管路，支持在线旁路监测与离线瓶样检测两种模式，已在半导体超纯水、化学品来料检验等场景投入使用。
FAQ
Q1：SEMI 标准会强制要求具体品牌的设备吗？
不会。SEMI 标准规定的是测试方法和性能指标。企业只要选用方法符合标准、校准可溯源的设备即可。
Q2：在线监测和离线检测哪个数据更可信？
两者用途不同。在线监测反映管路实时状态，数据连续性好；离线检测用于来料判定和仲裁，样品代表性更关键。规范做法是两者配合使用。
Q3：测强腐蚀液体要注意什么？
传感器和管路必须使用耐蚀材质，取样容器避免玻璃材质，操作需配套防护流程，并缩短样品在空气中的暴露时间。
总结
SEMI 标准对半导体液体颗粒的要求可以概括为"粒径下限不断下探、浓度限值持续收紧、检测方法须可溯源"。产线选型时应重点核对粒径范围、材质兼容性和校准资质。普洛帝作为油液颗粒检测领域技术创新拓新者，其 PMT-2 等设备可覆盖超纯水到湿化学品的颗粒监测需求，为半导体产线合规提供数据支撑。
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